>> LS1500半导体测试系统
产品概述

Acery LS1500半导体自动测试系统是航天新锐科技基于Keysight B1500A/B1505A的综合解决方案。LS1500支持 IV、CV、脉冲 IV 及快速 IV 测量,可对器件、材料、半导体、有源/无源元件以及任意电气器件进行各种电气表征和评测。

Keysight B1500A/B1505A提供了10个插槽并有多种测试模块可供选择,可以测试半导体的前向导通特性、反向击穿特性、二极管导通等参数。

性能指标

-    优异的 IV 测量性能: 0.1 fA / 0.5 μV 测量分辨率

-    基于定位器的可选 CV-IV 开关解决方案提供 0.5 μV 的电压

-    测量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 的电流测量分辨率能力

-    通过 desktop EasyEXPERT 软件进行离线数据分析和应用测试开发

-    10 ns 脉冲 IV 解决方案, 用于表征高 k 栅极电介质和 SOI晶体管

-    电压输出/测量能力达3000 V

-    高偏压下的精确的小于pA级低电流测量

-    电流输出/测量能力达 20 A

-    50 μs脉宽的高电流脉冲

-    高电压和大电流测量转换不需要重接接线

-    在3000 V直流偏压下进行电容测量

-    具有旋钮扫描能力的真正曲线追踪功能

-    带安全互锁的标准测试夹具保障封装

-    功率器件测试的安全性

-    支持和安全的晶圆片上的高功率测试

相关资料

LS1500半导体测试系统简介 PDF