Acery LS1100 MEMS晶圆片全参数自动测试系统可用于MEMS晶圆片的研发与制造， 以衡量晶圆片上的芯片是否达到设计要求。

自动测试系统包括探针台控制、测量仪器及自动测试软件， 以完成动态参数和静态参数的测量。

本系统为定制产品，仪器平台需根据客户要求进行配置。仪器平台以Keysight仪器为首要选择。

欢迎项目合作和共同开发。如有需求，可随时来电或邮件咨询。

-    陀螺、加速度计、压力传感器、硅麦等晶圆测试

-    静态参数和动态参数的测试

-    静态参数和动态参数的测试

-    控制探针台实现全自动测试

-    具有Map图的绘制功能

-    具有按多种条件统计数据的功能

-    历史数据可以查询和检索

-    系统自动生成测试报告